SITIME晶振微機電系統(MEMS)kHz振蕩器是極小的低功耗32kHz器件,針對移動和其他電池供電應用進行了優化.硅MEMS技術實現了超小尺寸和芯片級封裝.這些器件可實現更大的元件布局靈活性,并消除了外部負載電容,從而節省了額外的元件數量和電路板空間.SiTime采用NanoDrive™技術,這是一種工廠可編程輸出,可降低電壓擺幅,從而最大限度地降低功耗.還提供TempFlatMEMS™技術,該技術可在1.2mmx1.2mm的封裝內實現首個32kHz±3百萬分之一(ppm)超級TCXO.SiTime的MEMS振蕩器包括一個MEMS諧振器和一個可編程模擬電路.kHzMEMS諧振器采用SiTime獨特的MEMSFirst™工藝.關鍵制造步驟是EpiSeal™,在此期間MEMS諧振器的退火溫度超過+1000°C.EpiSeal創造了一個極其牢固,干凈的真空室來封裝MEMS諧振器,可確保最佳的性能和可靠性